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隨著全球晶圓廠的持續(xù)擴張,全球半導體設備及零部件保持快速增長,國內半導體陶瓷零部件市場規(guī)模增速高于全球,弗若斯特沙利文預計2026年市場規(guī)模將達到125億元,但目前國內半導體結構陶瓷零部件市場國產率僅19%,其中,國內高端陶瓷零部件加熱器和靜電卡盤市場均有30億的空間,國產化率不足10%,國產替代空間巨大,
當前國內企業(yè)在多應用領域經驗,特定產品開發(fā)和產業(yè)以及大規(guī)模生產制造能力等方面與國外領先廠商仍有較大或一定差距,但是國內廠商在部分產品線的部分核心指標已達到全球主流水平,正在逐步實行突破,國內多家廠商積極布局如靜電卡盤和陶瓷加熱盤等高端陶瓷零部件產品,以加速高端陶瓷零部件零部件的國產替代,